廢氣處理設備之催化燃燒裝置適用于處理高溫、小風量、中的廢氣，可處理的溶劑種類包括苯類、酮類、酯類、醇類、醛類、醚類、烷類及其混合類。
等離子廢氣凈化器應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多。
等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。
